三星显示申请热处理装置专利,可向热处理空间供应第一气体
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国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“热处理装置”的专利,公开号CN121297457A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明涉及一种热处理装置,本发明的一实施例的热处理装置,其可以包括:腔室,形成有热处理空间;气体供应部,向所述热处理空间供应第一气体;阻隔板,允许或限制从所述气体供应部向所述热处理空间供应的所述第一气体的供应;以及气体排出部,将所述热处理空间的所述第一气体向所述腔室的外部排出。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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