贝思瑞士申请具有改良压紧装置的设备专利,在使用中直接自处理室外部施加压紧力
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国家知识产权局信息显示,贝思瑞士股份公司申请一项名为“具有改良压紧装置的设备”的专利,公开号CN121311329A,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,一种用于在处理室(400)中处理基板(300)的设备(100、101、102),其中该设备(100、101、102)包括压紧装置(500、501、502),其适于在使用中将压紧力施加至基板(300)的至少一部分上。该处理室包括用于容置压紧装置的致动器元件(520)的压紧开口(270),其中在使用中直接自处理室(400)外部施加该压紧力。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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