国家知识产权局信息显示,应用材料以色列公司申请一项名为“分割照明系统”的专利,公开号CN121299927A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,描述了一种光学系统。所述光学系统包括输入瞳孔,所述输入瞳孔用于输入照明辐射,以及第一和第二场分裂阶段。所述第一场分裂阶段被配置为沿选定的第一轴将输入照明辐射分割为第一选定数量的照明光束。所述第二场分裂阶段被配置为接收所述第一选定数量的照明光束,并将所述第一选定数量的照明光束分割为沿选定的第二轴的第二选定数量的照明光束。因此,所述光学系统提供通过所述输出瞳孔出口的选定数量的照明光束,并对具有选定空间形状的区域进行照明。

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作者:情报员