国家知识产权局信息显示，上海芯煜达科技有限公司申请一项名为“一种MEMS谐振器及其制作方法”的专利，公开号CN121308708A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请公开MEMS谐振器及其制作方法，涉及微电子机械系统技术领域。该MEMS谐振器包括上电极组件、下电极层、氮化物层、上氧化物层和硅基层。上氧化物层覆盖在硅基层的上表面。氮化物层覆盖上氧化物层的上表面。下电极层沉积在氮化物层之上。上电极组件包括振动电极。振动电极包括振动板和若干连接柱。振动板的下表面为平面形，上表面的外周区为凸曲面形。连接柱连接振动板和下电极层。振动时，振动电极上表面边缘流速快，压强低，而振动电极下表面为平面，气流相对较慢，空气压力相对于上表面较大，形成向上的动力，在每个振动循环内都会获得以一次激励，减少了器件振动的衰减，提升了谐振器的Q值，并降低器件功耗。

天眼查资料显示，上海芯煜达科技有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本667万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯煜达科技有限公司专利信息5条，此外企业还拥有行政许可4个。

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作者：情报员