国家知识产权局信息显示,江苏晶工半导体设备有限公司取得一项名为“一种校正结构”的专利,授权公告号CN223786475U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请公开了一种校正结构,涉及晶圆加工技术领域。本申请包括机架,所述机架上设置有CCD测量仪器与激光位移传感器,所述机架上设置有移动滑台模组与顶升气缸,所述移动滑台模组上设置有马达,通过移动滑台模组驱使马达直线运动,所述马达的输出轴上设置有连接架,所述连接架上设置有连通的真空泵与吸盘,所述顶升气缸的活动端设置有U型托架,U型托架位于吸盘外侧并与晶圆底部抵触搭接。本申请在对晶圆进行校正时,摒弃了现有技术中使用机械手对晶圆进行位置调整的方式,不仅调整过程方便,同时还可以避免出现位置偏差,保障后续检测结果,因此更具有实用性。
天眼查资料显示,江苏晶工半导体设备有限公司,成立于2021年,位于南通市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏晶工半导体设备有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目17次,专利信息20条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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