国家知识产权局信息显示，深圳市东信高科自动化设备有限公司申请一项名为“一种晶圆加工用等离子除胶机及其加工方法”的专利，公开号CN121310862A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆加工环保除胶技术领域，具体涉及一种晶圆加工用等离子除胶机及其加工方法，包括机体、真空泵和导流罩，机体的顶部设置有下腔体，机体的顶部铰接安装有上腔体，上腔体底端的内侧开设有下腔槽，下腔槽的顶端安装有圆分气板二，上腔体顶端的内侧开设有上腔槽，上腔槽的内侧安装有圆分气板一，上腔体的顶部连通有工艺气体进气管。本发明通过采用特制驱动电机，促使从动齿环转动，进而带动圆形水冷电极板转动，方便圆形水冷电极板承载晶圆时能够调整作业位置，并以5-10rpm的低速转动，带动气体在晶圆表面形成薄层流动，提升局部均匀性，能够配合圆周的排气增加气流的均匀度，进一步确保了气体分布的均匀效果。

天眼查资料显示，深圳市东信高科自动化设备有限公司，成立于2012年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市东信高科自动化设备有限公司参与招投标项目32次，专利信息61条，此外企业还拥有行政许可12个。

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作者：情报员