国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“缓冲装置”的专利，授权公告号CN223780359U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种缓冲装置，设置在工艺腔和传输腔之间，包括缓冲腔，经由所述缓冲腔在所述工艺腔和传输腔之间传输晶圆，所述缓冲装置包括：气体供应装置，用于向所述缓冲腔内提供吹扫气体；抽气装置，用于抽出所述缓冲腔内的所述吹扫气体；控制器，分别与所述气体供应装置以及所述抽气装置连接，所述控制器控制所述气体供应装置和所述抽气装置交替工作，以在第一预设时间内将所述缓冲腔内的气压从第一气压升高到第二气压，并在第二预设时间内将所述缓冲腔内的气压从第二气压降低到第一气压；该缓冲装置能够防止从工艺腔内传出的晶圆携带颗粒物进入传输腔。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1632条，此外企业还拥有行政许可77个。

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作者：情报员