前沿导读

荷兰《电讯报》记者就全球芯片产业问题,采访了ASML总裁克里斯托夫·富凯以及首席财务官罗杰·达森。

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当记者询问到如何看待中国发展以及出口管制对中国的影响时,富凯表示中国已经8年没有获得我们的EUV光刻机了,因此中国的技术已经落后全球8年的时间。

就EUV技术来说,我们没有看到任何证据能够证明中国已经在突破封锁的边缘,这是一个十年以上的大工程,而不是两三年的小项目。不过中国也在取得一些技术成果,并且中国还在持续投入巨资研发设备,这必然会影响全球芯片产业的格局。

参考资料:
公众号:一网荷兰【荷兰】荷兰阿斯麦总裁和财务总监谈中国

出口管制

美国在2018年启动了针对中兴和华为的制裁措施,也就是在这一年,中芯国际与ASML签订采购合约,以1.2亿美元的价格采购中国大陆第一台EUV光刻机。

参考资料:
国内首台:中芯国际1.2亿美元购入EUV光刻机
https://www.guancha.cn/economy/2018_05_17_457038.shtml

在此之前,中芯国际一直都是ASML在中国大陆地区的重要合作商。

双方的合作开始于2002年,中芯国际采购了多台来自于ASML的i线和DUV光刻机。根据ASML官方新闻显示,为支持双方合作,ASML在上海附近建设有办事处和备件仓库,为中芯国际提供可持续支持的售后服务。

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然后在2018年,双方又签订了批量采购DUV光刻机的协议。原定的有效期截止到2020年12月31日,但随后又将合作协议延长,从2021年2月延长至2021年12月。

根据ASML的官网新闻显示,2020年至2021年,双方的采购订单金额已经达到了12亿美元。

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连续多年的合作,已经表明了芯片产业全球化的发展格局,也说明了ASML与中国企业的合作是双赢的局面。既可以解决中国本土芯片的制造问题,又可以通过向中国企业销售设备,为ASML带来持续的经济增长。

中芯国际在2018年采购的EUV光刻机,美国对其进行了围追堵截,不断敦促ASML取消与中国企业的合作。但是时任ASML CEO的彼得·温宁克认为ASML地处中立的荷兰,服务于全球企业,从不涉足政治,美国没理由干涉。

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随着中美科技战的持续加深,美国政府对荷兰政府施压,迫使荷兰政府强制性撤销了ASML EUV光刻机的对华出口许可,拦截了这台本属于中国企业的EUV光刻机。

荷兰《新鹿特丹商报》记者马克·海金克曾经深度采访了ASML官方3年时间,据海金克在个人作品中披露称,温宁克多次游说美国政府劝其放松对中国的出口管制,中国的消费市场庞大、芯片产业彭博发展、对于先进设备的需求量大,而且中国企业也愿意拿出大量资源去采购成熟的先进设备。

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美国单方面限制ASML与中国合作,这必然会让中国企业手里的采购资金流入本土企业手中,上下游产业链抱团取暖,从而加速自主光刻机的研发进度。

平衡点

ASML首席财务官罗杰·达森对此分析称,出口管制的核心问题就是美国打算将中美之间的技术差距拉到多大,美国的部分政客认为应该让中国继续依赖西方国家的技术,但是需要通过制裁的方式将中国技术压制在一个较为落后的节点上。

中美之间的芯片技术需要存在差距,但如果这个差距被拉的过大,就会让中国企业去研发自主设备,从而逐步放弃西方国家的进口产品。

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前段时间路透社消息称,中国已经完成了EUV光刻原型机,但是其通篇内容都是以所谓的“知情人士透露”为核心,并没有权威的直接性证据来证明中国在自研EUV光刻机领域的最新进展。

针对中国自研EUV光刻机这件事,ASML总裁富凯在此前的采访中表示已经知晓,并且由于中国一直拿不到先进设备,所以中国企业尝试自主研发EUV这件事是合情合理的,但是富凯对于中国自研设备进入量产商用阶段持保守态度。

ASML的第一台EUV原型机发布于2006年,造出来之后便交付给美国纽约州立大学纳米科学与工程学院进行深入研究。一直到2018年,ASML才制造出了可以量产,并且可以制造先进芯片的光刻机设备。2019年,由EUV光刻机制造的先进芯片正式在市场上开售。

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原型机有了,下一步就是要解决制造芯片的良品率以及光刻机的量产问题。在富凯看来,解决这两点问题是为期10年的技术项目,在短短两三年内是无法做到的。不过在其他技术门槛较低的领域,例如干式ArF光刻机,中国已经取得了阶段性成果。