国家知识产权局信息显示，湖北星辰技术有限公司申请一项名为“刻蚀机台的边缘保护环及刻蚀机台”的专利，公开号CN121306892A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体制造领域，公开了一种刻蚀机台的边缘保护环及刻蚀机台。其中边缘保护环包括环体，沿环体的径向的内侧具有遮边部，遮边部用于遮挡晶圆；遮边部具有至少一个供气空间，供气空间构成为沿预设方向向晶圆喷吹气体，预设方向与边缘保护环的轴向相交，预设方向朝向边缘保护环的内侧。通过本申请，能够在边缘保护环底部设置供气空间，在刻蚀过程中向晶圆持续喷吹气体，形成气体屏障，阻挡制程过程中的副产物颗粒与等离子体进入晶圆与机台之间的缝隙，防止颗粒破坏或污染晶圆，保持晶圆侧边与背侧的清洁，也能够减少清洁机台的需求。

天眼查资料显示，湖北星辰技术有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3680.3242万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北星辰技术有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目81次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息123条，此外企业还拥有行政许可28个。

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作者：情报员