国家知识产权局信息显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“一种ALD设备的反应室”的专利,授权公告号CN223780357U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种ALD设备的反应室,包括外腔体,外腔体横截面呈方形,外腔体四角采用圆角过渡;前法兰,连接于外腔体轴向一端周侧;后法兰,连接于外腔体轴向另一端周侧;纵向加强筋,设于外腔体的各个外侧面与相邻圆角的相切处,并沿外腔体的轴向连接于前法兰和后法兰之间;多个横向加强筋,间隔设置于外腔体的各个外侧面,并垂直于外腔体的轴向连接于相邻纵向加强筋之间。本实用新型提供的ALD设备的反应室的方形外腔体有效利用了圆形外腔体无法利用的圆弧处内部空间,提高反应室空间利用率,使内反应腔宽度和高度可满足加宽、加高的金属舟和更大的加热器,大幅提升设备产能;反应室保持适配原有圆形外腔体的机架层高、安装位置和配合。
天眼查资料显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,成立于2007年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34771.3586万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目95次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息552条,此外企业还拥有行政许可71个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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