国家知识产权局信息显示,北京中科彼岸集成电路科技有限公司申请一项名为“一种有环形边缘支撑结构的超薄半导体减薄方法”的专利,公开号CN121310857A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了有环形边缘支撑结构的超薄半导体减薄方法,包括:将完成功能结构制作的半导体基片放置在载片上与其结合;半导体基片包括依次层叠的衬底、腐蚀阻挡层、半导体层,半导体层包括缓冲层和器件层;缓冲层用于防止器件层在衬底减薄去除前后功函数变化影响;在半导体基片的衬底的环形边缘区域形成腐蚀阻挡保护层;采用腐蚀方法对衬底的未被腐蚀阻挡保护层覆盖的部分腐蚀掉,得到环形边缘支撑结构的超薄半导体。环形边缘支撑结构可以在后续工艺中对超薄半导体有效支撑;得到的超薄半导体整体减薄去除了衬底厚度,甚至能够实现超薄半导体的厚度小于1μm的减薄能力;很好克服传统研磨减薄工艺的应力影响、均匀性差、划痕以及颗粒污染等问题。

天眼查资料显示,北京中科彼岸集成电路科技有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本105.44216万人民币。通过天眼查大数据分析,北京中科彼岸集成电路科技有限公司专利信息7条,此外企业还拥有行政许可1个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员