国家知识产权局信息显示,宏芯半导体(苏州)有限公司申请一项名为“基于多参数协同调控的MPCVD金刚石高效长晶工艺”的专利,公开号CN121295339A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明属于金刚石加工技术领域,尤其为基于多参数协同调控的MPCVD金刚石高效长晶工艺,包括如下步骤:选择合适的晶种进行检测:对晶种进行预处理进行长晶步骤的实施;对制备而来的晶体进行后处理操作;进行清洁处理;进行切割处理;完成后的金刚石晶体进行研磨及抛光处理;对成品进行等级鉴定后质检,筛选出不合格品。本发明通过优化气体成分和气流分布,结合射频功率与偏压的协同调控,能够实现高效的金刚石长晶,生长速率显著提高,此外通过多参数协同控制,尤其是温度、气体流量和气体成分的精确调节,使得金刚石晶体质量得到显著改善,缺陷密度和应力得到了有效控制,该工艺优化了反应条件,减少了能量消耗和资源浪费,从而降低了生产成本。

天眼查资料显示,宏芯半导体(苏州)有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3450万人民币。通过天眼查大数据分析,宏芯半导体(苏州)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目4次,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员