国家知识产权局信息显示，江苏天芯微半导体设备有限公司取得一项名为“一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置”的专利，授权公告号CN223795985U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置，所述腔室内设有基盘和基准物，位置检测装置包括支撑结构、运动结构和检测机构，其中，所述支撑结构包括由上至下依次堆叠设置的上盖板、下盖板和安装基座，所述上盖板设置于下盖板的上表面，下盖板设置于安装基座的上表面；所述上盖板、下盖板和安装基座同心设置；所述运动结构包括导轨和沿导轨滑动的滑块，其中，所述导轨安装于下盖板的上表面，且导轨沿上盖板的边缘设置；所述检测机构与滑块固定连接，所述检测机构的测量区域至少对准基盘与基准物之间的缝隙。本实用新型能够准确且方便的检测出基盘和基准物的相对位置。

天眼查资料显示，江苏天芯微半导体设备有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16385.15万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏天芯微半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息167条，此外企业还拥有行政许可18个。

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作者：情报员