国家知识产权局信息显示，光芯微纳技术（深圳）有限公司取得一项名为“高精度膜厚测量设备和系统”的专利，授权公告号CN223795997U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本申请提供了一种高精度膜厚测量设备和系统，该高精度膜厚测量设备包括：晶控探头、膜厚仪、第一腔体和真空腔体；第一腔体内设置振荡包且填充空气；真空腔体内至少包括第一腔体和晶控探头；振荡包置于所述第一腔体内，且晶控探头安装在第一腔体的第一侧面上；晶控探头和振荡包之间焊接连接；振荡包连接膜厚仪；晶控探头，用于采集待测材料的测量信号，测量信号为模拟信号；振荡包，用于将测量信号转化为数字信号；膜厚仪，用于根据数字信号确定待测材料的膜厚参数。该高精度膜厚测量装置可通过设置振荡包和晶控探头的连接方式来提高膜厚测量的准确性，以及通过调整振荡包与膜厚仪之间的位置结构来提高膜厚测量的精度。

天眼查资料显示，光芯微纳技术（深圳）有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，光芯微纳技术（深圳）有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员