国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种半导体刻蚀设备及其控制方法”的专利，公开号CN121331730A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本申请提供一种半导体刻蚀设备及其控制方法，半导体刻蚀设备包括离子源腔。离子源腔设置有电磁铁阵列结构，电磁铁阵列结构包括多个电磁铁单元以及支撑结构，多个电磁铁单元设置于所述支撑结构上。电磁铁阵列结构用于提供目标形状和目标强度的磁场，以利用目标形状和目标强度的磁场控制离子源腔内部的等离子体的空间分布，目标形状和目标强度的磁场根据多个电磁铁单元的位置、多个电磁铁单元的电流以及电磁铁阵列结构的运动状态确定，从而实现对等离子体的空间分布进行多种场景的调控，以便最终实现离子束的空间分布的多种场景的调控。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目257次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息469条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员