国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“套刻精度量测机台的焦距管控方法”的专利，公开号CN121325519A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明提供了一种套刻精度量测机台的焦距管控方法，包括：步骤S1，检测并收集当前晶圆的平整度数据；步骤S2，根据平整度数据计算出每个量测点处的最佳焦距；步骤S3，量测机台对当前晶圆的每个量测点在最佳焦距下进行套刻精度量测，收集波形图、套刻精度数据和量测指标数据，进入步骤S4；步骤S4，判断量测指标数据是否超规，若判断结果是“否”，则进入步骤S5，若判断结果是“是”，则进入步骤S6；步骤S5，将下一片晶圆投入到步骤S1中；步骤S6，根据波形图对最佳焦距进行优化，进入步骤S3重新套刻精度量测。本发明可以实现量测Focus(焦距)及量测指标数据的监控，智能化调整套刻精度的量测条件，及时优化后台算法，使套刻精度量测更准确、更稳定。

天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2093次，专利信息2666条，此外企业还拥有行政许可397个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员