国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆状态检测装置和半导体工艺设备、工艺控制方法”的专利，公开号CN121335443A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆状态检测装置和半导体工艺设备，涉及半导体工艺技术领域，以解决晶圆的吸附状态不易检测的问题。晶圆状态检测装置包括升降件、升降作用件和第一电极，升降件具有导电部，升降件的顶部用于接触晶圆并配置为与静电卡盘相对升降运动；升降作用件与升降件连接并配置为驱动升降件的顶部上升；当晶圆被静电卡盘静电吸附时，第一电极与升降件脱离时，第一电极与升降件绝缘设置；当第一电极的导电部与升降件接触，导电部能够与升降件导通电流。其可以提高晶圆吸附状态的检测效率和准确度。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1348次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员