国家知识产权局信息显示,三河建华高科有限责任公司申请一项名为“一种激光解键合设备及键合晶圆分离机械手”的专利,公开号CN121335483A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种激光解键合设备及键合晶圆分离机械手,涉及晶圆加工领域,包括吸附件、旋转臂、转轴、伸缩臂、安装板、移动驱动件、限位件、A复位件和B复位件;定义:安装板的长度方向为X向,转轴的轴向为Y向,X向与Y向相垂直;安装板连接用于驱动安装板沿垂直于X向的Z向移动的移动驱动件,且Z向与Y向相垂直;该激光解键合设备及键合晶圆分离机械手,通过吸附件吸附晶圆后,移动驱动件驱动吸附件沿Z向移动,利用晶圆与载体间残余粘性促使旋转臂绕Y向转动和伸缩臂沿X向移动,实现X向、Y向和Z向的多方向协同运动,有效分散分离过程中的应力,避免单轴受力导致的局部应力集中,从而防止超薄晶圆因机械强度低而碎裂。

天眼查资料显示,三河建华高科有限责任公司,成立于2003年,位于廊坊市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析,三河建华高科有限责任公司参与招投标项目55次,专利信息109条,此外企业还拥有行政许可8个。

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作者:情报员