国家知识产权局信息显示,浙江晶睿电子科技有限公司申请一项名为“一种生产超薄支撑层SOI的方法”的专利,公开号CN121335515A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种生产超薄支撑层SOI的方法,涉及到半导体技术领域,其包括,包括以下步骤:S1:分别提供支撑层晶圆和顶硅晶圆,对支撑层晶圆的正面和顶硅晶圆的背面进行常规化学机械抛光,获得常规抛光片;S2:对支撑层晶圆的抛光面和顶硅晶圆的抛光面,进行表面活化后,将两者对齐贴合并施加压力,得到支撑层SOI;S3:对顶硅层的边缘进行减薄处理,去除部分顶硅层材料,得到减薄支撑层SOI,常规厚度抛光片工艺稳定,用于键合也有正常良率,而键合后的SOI片厚度为顶硅厚度与支撑层厚度之和,这在后续背面减薄和抛光中避免了超薄片加工,并且此工艺由于背面抛光的后置,额外使背面的质量高于传统方案,满足更多客户的要求。

天眼查资料显示,浙江晶睿电子科技有限公司,成立于2020年,位于丽水市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4243.9409万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江晶睿电子科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目30次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息36条,此外企业还拥有行政许可11个。

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作者:情报员