国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种c轴取向晶体IGZO薄膜的制备方法”的专利，公开号CN121320911A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体材料领域，特别涉及一种c轴取向晶体IGZO薄膜的制备方法。本发明提供的c轴取向晶体IGZO薄膜的制备方法，利用原子层沉积设备，先沉积形成GaO层，再沉积形成ZnO层，然后沉积形成InO层，能够实现精确的层间覆盖，可以在不需要额外工艺处理的条件下，通过控制沉积过程中的工艺参数（如锌源的源瓶温度、引入时间、气体流量及循环次数等），可以精确控制Zn/(In+Ga+Zn)占比，进而提高IGZO的结晶度和电学性能。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目54次，财产线索方面有商标信息87条，专利信息584条，此外企业还拥有行政许可69个。

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作者：情报员