国家知识产权局信息显示，深圳市速程精密科技有限公司申请一项名为“一种执行器及半导体加工系统”的专利，公开号CN121315923A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种执行器及半导体加工系统，执行器包括壳体、直线模块及旋转模块，壳体具有容纳腔，直线模块设于容纳腔内，直线模块包括直线电机、连接件、第一轴承及第一导轨，直线电机连接于连接件，连接件连接于第一轴承，第一导轨沿第一方向延伸设置，第一轴承与第一导轨浮动配合，第一轴承可相对第一导轨沿第一方向移动，旋转模块设于容纳腔内，旋转模块包括安装架、旋转电机及转轴，连接件还连接于安装架，旋转电机与转轴设于安装架，旋转电机连接于转轴。采用本申请的方案，第一轴承相对第一导轨移动时产生的轴向摩擦力较小，同时该摩擦力较为稳定，有利于提高执行器在实现第一方向上的移动时的力控精度。

天眼查资料显示，深圳市速程精密科技有限公司，成立于2016年，位于深圳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市速程精密科技有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息82条，此外企业还拥有行政许可16个。

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作者：情报员