国家知识产权局信息显示，统一半导体公司；法国国家科学研究中心申请一项名为“用于检查基板的装置”的专利，公开号CN121336105A，申请日期为2023年7月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于检测基板、诸如晶圆上的缺陷的检查装置（100、200、300、400、500），包括：‑照明模块（10），包括至少一个光源（12），被配置为利用至少一个照明光束（20、21）照射待检查基板（30）的至少一个区域；‑至少一个检测器（51、52、53、54、54‑1、54‑2、55、55‑1、55‑2、56‑1、56‑2），被配置为检测从基板（30）发出的光并产生检查信号；‑光收集模块；以及‑处理模块，被配置为根据该检查信号产生检查信息，其中，光收集模块包括具有纳米结构化表面（90）的至少一个收集透镜（40），纳米结构化表面（90）包括至少一个光收集区域（91、92、92'、93、94、95、96、97、98），被配置为收集从基板（30）发出的预定立体角（81、82、83、84、85）内的光并将所收集的光引导向相应的检测器（51、52、53、54、54‑1、54‑2、55、55‑1、55‑2、56‑1、56‑2），光收集区域和相应的检测器形成收集通道（61、62、63、64、65、66、67、68）。

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作者：情报员