国家知识产权局信息显示，热思特设备技术股份有限公司申请一项名为“高压退火装置”的专利，公开号CN121335447A，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，本发明公开一种高压退火装置。本发明通过包括提供内空间的内腔体、容纳内腔体的外腔体、在内腔体和外腔体之间的外空间中执行加热作用的加热模组、通过升降工作将内腔体的下部以及外腔体的下部中的至少任一个开启或密闭的腔体门、提供于腔体门上，并根据腔体门的升降工作而出入内空间的基板保持器以及密闭外空间的下部的遮蔽件，可以防止从加热模组产生的颗粒扩散，通过此可以防止基板(半导体晶圆)通过颗粒污染。

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作者：情报员