国家知识产权局信息显示,中芯京城集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“一种晶圆键合结构及其形成方法”的专利,公开号CN121335444A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请提供一种晶圆键合结构及其形成方法,所述方法包括:提供第一晶圆结构,所述第一晶圆结构包括第一晶圆和第一键合层;对所述第一键合层的表面进行掺杂离子注入,使所述第一键合层表面形成第二键合层;对所述第二键合层的表面进行氢离子注入,使所述第二键合层的表面形成氢离子层;对所述氢离子层以及第二键合层进行等离子体轰击,以使所述氢离子层和所述第二键合层中形成所述掺杂离子的悬挂键;提供羟基源,使所述悬挂键表面吸附羟基;将两个第一晶圆结构中的氢离子层对准,并进行预键合;进行第二退火处理,实现两个第一晶圆结构的键合。所述键合方法提高了键合强度。
天眼查资料显示,中芯京城集成电路制造(北京)有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯京城集成电路制造(北京)有限公司参与招投标项目45次,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可246个。
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目129次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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