国家知识产权局信息显示，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司申请一项名为“一种用于ESC晶圆的加热器温度控制方法及系统”的专利，公开号CN121326043A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种用于ESC晶圆的加热器温度控制方法及系统。所述方法包括：获取原始温度数据与原始运行参数数据并处理，得到标准实时状态向量；根据所述标准实时状态向量识别得到多区域渗透引起的热量干扰模式；根据所述热量干扰模式和所述标准实时状态向量预测得到未来温度演变趋势；根据所述未来温度演变趋势确定全局热量解耦方案；对所述全局热量解耦方案进行校验与参数解析处理，得到基准控制参数序列；获取实时温度数据，基于所述基准控制参数序列与所述实时温度数据生成最终温控执行信号并执行。本方法解决了因热渗透效应导致的温度分布不均及控制滞后的技术问题。

天眼查资料显示，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司，成立于2011年，位于深圳市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1176.47万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可6个。

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作者：情报员