三星显示申请沉积掩模及制造方法和电子装置专利,实现对孔图案宽度变化的控制
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国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“沉积掩模及用于制造其的方法和电子装置”的专利,公开号CN121320901A,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,提供了一种沉积掩模及用于制造其的方法和电子装置。沉积掩模包括:掩模基底,包括半导体晶圆;第一涂覆膜,在掩模基底上;以及第二涂覆膜,在第一涂覆膜上,并且包括交替地布置的孔图案和掩模图案,其中,孔图案的上部宽度小于孔图案的下部宽度。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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