国家知识产权局信息显示,杰平方半导体(上海)有限公司申请一项名为“碳化硅器件的制造方法”的专利,公开号CN121335428A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明提供一种碳化硅器件的制造方法,在形成体区和源区之后,先执行退火工艺,以激活体区和源区中的离子;然后,在碳化硅外延层上形成图形化的层间介质层,图形化的层间介质层中具有一开口,开口对准相邻的两个源区之间的体区和碳化硅外延层;接着,以图形化的层间介质层为掩膜,对开口底部的体区和碳化硅外延层进行第二导电类型的离子注入,以形成接触区,接触区位于相邻的两个源区之间且与源区相接触。如此,即可利用图形化的层间介质层作为接触区离子注入的掩膜,由此可节省一层掩膜,从而可实现工艺简化,并节省了工艺时间和工艺成本。

天眼查资料显示,杰平方半导体(上海)有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本8430.1797万人民币。通过天眼查大数据分析,杰平方半导体(上海)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息76条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员