国家知识产权局信息显示,南京和显达微电子科技有限公司申请一项名为“一种用于Cu-MoTi合金层的双剂型蚀刻液”的专利,公开号CN121344603A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及一种用于Cu‑MoTi合金层的双剂型蚀刻液。包括主剂和辅剂,按重量百分比计,所述主剂包括双氧水6‑20%、第一有机酸10‑25%、第一有机碱5‑15%、第一锥角稳定剂2‑5%、第一蚀刻速度调节剂0.1‑1%、表面活性剂1‑5%、第一氟类化合物0.1‑1%、双氧水稳定剂1‑5%,去离子水补足余量;所述辅剂包括第二有机酸20‑45%、第二蚀刻速度调节剂0.5‑2%、第二锥角稳定剂2‑5%、第二有机碱10‑20%、第二氟类化合物0.1‑1%,去离子水补足余量。本发明利用不同蚀刻速度调节剂的相互作用,加强侧蚀抑制作用,减小4Mask和5Mask工艺的蚀刻角度差异。

天眼查资料显示,南京和显达微电子科技有限公司,成立于2021年,位于南京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,南京和显达微电子科技有限公司参与招投标项目3次,专利信息3条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员