国家知识产权局信息显示,盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请一项名为“一种晶圆夹持机构”的专利,公开号CN121358251A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆夹持机构,属于半导体制造装备技术领域。该晶圆夹持机构包括外部夹持机构、内部夹持机构和旋转转移晶圆机构。内部夹持机构将升降、偏转、俯仰和旋转四种运动功能集成于一体。其中,齿轮驱动电机通过齿轮齿条副驱动L形连杆轴轴向移动,再经连杆机构转换为转动轴的摆动,实现吸盘的俯仰调节;偏转电机通过同步带驱动翻转轴实现吸盘的偏转运动;旋转电机直接驱动吸盘旋转,Z轴移动模组则实现竖直方向的精确定位。外部夹持机构负责晶圆的承载与水平旋转,旋转转移机构实现晶圆在不同工位间的自动化转运。本发明解决了现有技术中功能割裂、空间利用率低及夹持稳定性不足的问题,能够同步实现晶圆的多自由度精密姿态调整。
天眼查资料显示,盛吉盛精密装备(上海)有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,盛吉盛精密装备(上海)有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息14条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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