国家知识产权局信息显示,珠海市申科谱工业科技有限公司申请一项名为“一种晶圆环顶升锁止机构”的专利,公开号CN121358235A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆环顶升锁止机构,旨在提供一种结构简单,在集成电路制造过程中通过多组摆臂同步对晶圆环底部进行承托能有效避免侧向夹紧导致的变形问题,且通过多组联动定位装置提高锁附精度的晶圆环顶升锁止机构。本发明包括锁止组件、调节组件以及顶升组件,锁止组件包括旋转平台、两组盖板、转动模组以及若干组锁止模块,转动模组与调节组件活动端相连接,旋转平台与转动模组转动配合,两组盖板设置在旋转平台上端面两侧,若干组锁止模块阵列设置在旋转平台上并驱动晶圆环固定端与两组盖板相配合,顶升组件设置在锁止组件下端并通过旋转平台中部的避让口与旋转平台上端面的晶圆环托盘端相配合。本发明应用于产品定位的技术领域。

天眼查资料显示,珠海市申科谱工业科技有限公司,成立于2020年,位于珠海市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本2920.9715万人民币。通过天眼查大数据分析,珠海市申科谱工业科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息281条,此外企业还拥有行政许可24个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员