三星显示申请衬底转移装置专利,提高衬底处理过程中的吸附精度和稳定性
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国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“衬底转移装置”的专利,公开号CN121358229A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本公开的实施方式提供一种衬底转移装置,衬底转移装置包括:基础板;第一吸附模块,联接到基础板,第一吸附模块的位置在第一方向上是可调整的,并且第一吸附模块配置为吸附第一衬底;以及第二吸附模块,联接到基础板,第二吸附模块的位置在第二方向上是可调整的,并且第二吸附模块配置为吸附第一衬底。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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