国家知识产权局信息显示,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请一项名为“一种半导体器件及其制备方法”的专利,公开号CN121358276A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本申请提供一种半导体器件及其制备方法,包括:提供衬底,衬底包括第一区域和第二区域;在衬底的表面形成多晶硅层,对第二区域上方的多晶硅层进行离子注入,以形成掺杂多晶硅层;在多晶硅层上形成第一介质层;去除位于第一区域上方的多晶硅层和第一介质层,以露出第一区域的衬底表面;形成第二介质层;利用光刻工艺,在第二介质层上形成图案化的掩膜层,掩膜层定义预定形成的第一接触孔和预定形成的第二接触孔的图案;以掩膜层为掩膜,刻蚀第二介质层、衬底和第一介质层以形成第一接触孔和第二接触孔,第一接触孔延伸至第一区域的衬底中,第二接触孔露出掺杂多晶硅层,对第二介质层刻蚀的过程中,第二介质层相对第一介质层具有更高的刻蚀选择比。
天眼查资料显示,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司,成立于2021年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本398282.0957万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目62次,专利信息150条,此外企业还拥有行政许可26个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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