国家知识产权局信息显示,江苏汉印机电科技股份有限公司申请一项名为“用于碳化硅外延薄膜生长的设备自适应控制方法”的专利,公开号CN121344760A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明公开了用于碳化硅外延薄膜生长的设备自适应控制方法,本发明涉及薄膜材料生长技术领域,解决了功率调节未设置超限保护,可能引发石墨基座热变形;且功率与气体流量调节不同步,无法协同抵消温度偏差导致的C/Si比失衡的技术问题,本发明通过创新采用空间‑参数‑时间的识别逻辑,通过匹配异常‑缺陷关联知识库,可精准区分中心缺陷与边缘缺陷,采用临界比例法优化PID参数,提升温度调节响应速度,增加功率上下限判断机制,避免功率骤变导致的设备损伤,实现功率调节与气体流量的协同控制。
天眼查资料显示,江苏汉印机电科技股份有限公司,成立于2012年,位于盐城市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4899.9999万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏汉印机电科技股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息66条,专利信息162条,此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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