国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“多温度反应器系统和方法”的专利，公开号CN121362964A，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，公开了用于快速调节衬底温度的反应器系统和方法。示例性反应器系统可以包括联接到反应器的反应室的一个或多个温度调节气体源。另外或可替代地，示例性反应器系统可包括升降销组件，其可以在处理期间移动衬底远离基座表面。

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作者：情报员