国家知识产权局信息显示,友威科技股份有限公司申请一项名为“表面平坦化机构”的专利,公开号CN121366846A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请提供一种表面平坦化机构,其包含电浆处理装置、承载装置及调整装置。电浆处理装置用以对待制程物体的处理表面进行平坦化处理;承载装置供待制程物体放置,且使待制程物体对应于电浆喷头的位置;调整装置包含旋转调整单元及第一单轴调整单元,旋转调整单元以待处理表面的中心为圆心进行旋转,第一单轴调整单元能够控制待制程物体进行单轴直线移动,且使电浆喷头能够经过待处理表面的中心。藉此,本申请能够达到降低操作难度、降低制程成本、维持制程高精度和简化制程机构的目的。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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