报告作者:Dr.Jeongdong Choe Senior Technical Fellow,SVP

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以美光为例,1x 制程 (19~17nm)、1y(17~14nm)、1z(16~12nm)、1α(14~11nm)、1β(13~10nm)、1γ(11~9nm?)

根据 IRDS技术路线图,EUV曝光的极限预计会到7nm左右,最后进入到3D DRAM

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2025年全球需要的DRAM 容量(不含HBM)约为2000多亿Gb(bit)

1Eb=10亿Gb。

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从12nm开始,陆续进入到EUV制程。

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字线、位线ptich。

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从密度上来说,12~13nm制程,单平方毫米已经超过430Mb。

也就是单片wafer 在良率90%情况下。可以做到3000GB以上。按照当前DDR5 单GB 1.5美金,单片wafer应该在4500美元以上。

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国产来看,单位平方毫米的存储密度约为239Mb,也就是说单片wafer 超过1800GB,单片wafer价值2800美元( 目前DDR4、DDR5价格几乎齐平)

按照长鑫单季度超过50万片投片量,单个季度收入应该可以超过15亿美元。

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混合键合在HBM工艺上优势明显,但是突破难度较高

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国产3D NAND 份额保持在6%左右。

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从密度趋势来看,超过250层的3D NAND 密度已经超过20Gb/mm2。意味着在90%良率下,单片wafer 超过150TB。单片wafer价值量(按照0.05美元/GB价格)超过7000美元。

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从制程来看,3D NAND制程平均在20~25nm制程。未来有可能接近19nm

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长存从一开始就采用混合键合工艺,这也是3D NAND走向400层以上的关键技术,所以三星等希望长存授权相关技术

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从技术路线来看,DRAM更依赖于EUV等先进制程工具来提高存储密度;而3D DRAM有机会缓解这一瓶颈。

NAND密度提升依赖于混合键合技术,通过堆叠的方式增加更多层存储单元,而这一技术的领导者是国产厂商。