国家知识产权局信息显示,苏州中科重仪半导体材料有限公司申请一项名为“硅衬底上氮化铝的生长方法”的专利,公开号CN121381166A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本申请公开了一种硅衬底上氮化铝的生长方法,该硅衬底上氮化铝的生长方法包括:提供硅衬底;在硅衬底上形成缓冲层;在硅衬底上生长氮化铝;其中,缓冲层位于硅衬底与氮化铝之间,缓冲层为单层碳化硅薄膜。缓冲层的制作方法包括:对硅衬底进行高温氢气退火;在预设温度下向反应腔中通入预设流量的三甲基铝;其中,预设流量小于0.1umol/min。采用超低流量三甲基铝在高温下反应,通过自限制反应机制精确控制单层碳化硅的形成,为后续氮化铝的高质量生长奠定了良好的基础,提升了硅衬底上氮化铝的生长质量。
天眼查资料显示,苏州中科重仪半导体材料有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1083.34万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州中科重仪半导体材料有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息25条,此外企业还拥有行政许可7个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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