国家知识产权局信息显示,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司取得一项名为“晶圆承载装置及探针台”的专利,授权公告号CN223829813U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆承载装置探针台,涉及半导体加工技术领域。其中,承载组件包括主体、载台和容置槽,载台包括承载面和吸盘,承载面设有定位孔和多个密孔,吸盘安装于定位孔,密孔和吸盘均用于吸附晶圆;容置槽设置于载台的外侧,并沿载台的周向延伸设置,晶圆的边缘设置有边框,容置槽用于容置边框;载台安装于主体,主体包括相互独立的第一气路和第二气路,第一气路与密孔连通,第二气路与吸盘连通;负压组件包括第一负压管和第二负压管,第一负压管与第一气路连通,第二负压管与第二气路连通。通过这种设置,在晶圆发生不同程度的翘曲时均能够将晶圆平整地吸附于承载面,从而保证了测试结果的准确性。

天眼查资料显示,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,成立于2003年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4172.7274万人民币。通过天眼查大数据分析,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目83次,财产线索方面有商标信息30条,专利信息452条,此外企业还拥有行政许可16个。

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作者:情报员