国家知识产权局信息显示,周星工程股份有限公司申请一项名为“形成镓氮氧化物层的方法”的专利,公开号CN121400116A,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本发明提供一种在基板上形成镓氮氧化物(GaON)层的方法,该方法包括如下步骤:喷射含镓(Ga)的源材料;通过喷射含氮的第一反应材料来形成镓氮化物层;以及向镓氮化物层上喷射含氧的第二反应材料。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
国家知识产权局信息显示,周星工程股份有限公司申请一项名为“形成镓氮氧化物层的方法”的专利,公开号CN121400116A,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本发明提供一种在基板上形成镓氮氧化物(GaON)层的方法,该方法包括如下步骤:喷射含镓(Ga)的源材料;通过喷射含氮的第一反应材料来形成镓氮化物层;以及向镓氮化物层上喷射含氧的第二反应材料。
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