国家知识产权局信息显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司;清华大学申请一项名为“硅基板电性检测链路结构及测试方法”的专利,公开号CN121398545A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本申请涉及一种硅基板电性检测链路结构及测试方法,其中,硅基板电性检测链路结构包括:互连基板,互连基板包括沿第一方向和第二方向呈阵列排布的多个光罩区,每一个光罩区包括四个角落区,第一方向与第二方向垂直;多条分立的测试链路,每一条测试链路横跨沿第三方向分布的多个光罩区,且每一条测试链路中包括至少一根测试互连线,每一根测试互连线包括多个分立的角落连接线,每一个角落连接线呈“阶梯”式横跨相邻的三个光罩区中对应的三个角落区,第三方向与第一方向和第二方向相交。简化测试过程,并且支持跨光罩长链路测试,覆盖范围广,且通用性强。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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