国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“晶圆吸附方法、真空吸附设备及计算机程序产品”的专利，公开号CN121398538A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明实施例提供了一种晶圆吸附方法、真空吸附设备及计算机程序产品，其中，所述方法应用于真空吸附设备，包括：获取具有相对的吸附面和功能面的待吸附晶圆；真空吸附其吸附面；向保持真空吸附状态的功能面施加预设流量的目标控压气体，改变吸附面的压力值和功能面的压力值；判断当前次的吸附面的压力值和功能面的压力值是否满足预设压力值条件；该条件基于支持晶圆可贴合吸附的压力值确定；如果是，则提示晶圆吸附成功，完成吸附；如果否，则迭代的执行向保持真空吸附状态的功能面施加预设流量的目标控压气体的步骤，直至满足该条件。本发明实施例提供的技术方案，可提高吸附晶圆时晶圆与真空吸附设备的贴合程度，改善吸附效果。

天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可4个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员