国家知识产权局信息显示，广东精瓷新材料有限公司申请一项名为“一种高温静电卡盘及其制备方法”的专利，公开号CN121398530A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开一种高温静电卡盘及其制备方法，其结构包括陶瓷层和陶瓷金属基座，陶瓷层是氮化铝陶瓷或者氧化铝陶瓷的一种；陶瓷金属基座以可伐合金（主要成分是铁、镍和钴）或铝的一种为基底，添加剂为碳化硅、氧化钇、碳化钛或氧化铝、碳化硅、氧化锆。本发明的特色在于陶瓷金属基座通过结合陶瓷的耐高温、绝缘性和金属的导热优势，并通过增韧机理设计增加了韧性，解决了陶瓷的脆性问题，且组成一种高温静电卡盘的陶瓷层和陶瓷金属基座的热膨胀系数接近，可以维持高温加工时静电卡盘的表面平面度，规避陶瓷层开裂、产品整体bonding层分层或开裂问题，增加可靠性和使用寿命。

天眼查资料显示，广东精瓷新材料有限公司，成立于2021年，位于河源市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4513.3014万人民币。通过天眼查大数据分析，广东精瓷新材料有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可9个。

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作者：情报员