朗姆研究申请通过聚焦环增强碳膜边缘厚度轮廓可调整性专利，可实施为在晶圆边缘处对处理环境进行控制

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• 这个机器真不错，可以申请专利吗

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• 申请专利快去，这简直太到位，真的是很厉害！

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