国家知识产权局信息显示,无锡旭电科技有限公司取得一项名为“一种带有自动找平结构的曝光装置”的专利,授权公告号CN223827954U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种带有自动找平结构的曝光装置包括:升降部,安装在所述升降部上的曝光部;所述曝光部包括:万向座,安装在所述升降部上;曝光平台,安装在所述万向座上,所述曝光平台上放置有晶圆;掩膜板,位于所述曝光平台上方,所述掩膜板与曝光平台之间具有预定距离;找平件,包括位于所述晶圆及掩膜板之间的找平固定板,以及设置在所述找平固定板上的找平珠,所述找平固定板连接在找平珠二分之一处,且所述找平珠至少设计三个。本实用新型通过在晶圆和掩膜板之间设计找平件,进行对晶圆与掩膜板进行找平,同时将曝光平台设置在万向座上,进行适应找平工作,进而满足晶圆生产过程中的高重复性和稳定性。

天眼查资料显示,无锡旭电科技有限公司,成立于2006年,位于无锡市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本2500万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡旭电科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目15次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息71条,此外企业还拥有行政许可10个。

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作者:情报员