国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“清扫装置及半导体生产设备”的专利,授权公告号CN223829788U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本申请提供了一种清扫装置及半导体生产设备,其中,清扫装置包括清扫机构和净化机构,清扫机构包括进气喷嘴和排气喷嘴,进气喷嘴用于向晶圆存放装置内注入氮气,排气喷嘴用于在晶圆存放装置内注入氮气时将晶圆存放装置内的气体排出晶圆存放装置,净化机构通过第一连通处与进气喷嘴连通,以及通过第二连通处与排气喷嘴连通,在清扫机构停机时,净化机构用于通过第一连通处向进气喷嘴注入时长为预设时间间隔的清扫气体,以及通过第二连通处向排气喷嘴注入时长为预设时间间隔的清扫气体,以将沉积在进气喷嘴和排气喷嘴内的颗粒物清除,进而防止沉积在进气喷嘴和排气喷嘴内的颗粒物进入晶圆存放装置内污染晶圆。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目190次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息952条,此外企业还拥有行政许可56个。

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作者:情报员