国家知识产权局信息显示,成都国泰真空设备有限公司申请一项名为“一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构”的专利,公开号CN121394276A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明属于射频等离子、大口径镀膜用离子源ICP技术领域,具体涉及一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构,包括真空侧组件和大气侧组件;射频源头外壳的侧面与旋转轴盘转动连接,旋转轴盘与联接盒座固定相连;穿过腰型孔的螺栓对旋转轴盘和射频源头外壳的相对位置进行固定;射频源头外壳内设置射频线圈。本方案利用射频输出电缆在大气环境中不易形成无效馈入段的特点,通过联接盒座内的属于大气侧环境d联接腔进行布线,射频输出电缆更多处于大气环境、更少处于真空环境;射频源头外壳的旋转与电缆的形状和长度无关,减少无效馈入段的形成。联接盒密封盖与联接盒座采用斜面安装结构,使得操作更加方便;采用卡套接头,高温密封效果较好。

天眼查资料显示,成都国泰真空设备有限公司,成立于2013年,位于成都市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本4080万人民币。通过天眼查大数据分析,成都国泰真空设备有限公司参与招投标项目62次,财产线索方面有商标信息29条,专利信息79条,此外企业还拥有行政许可24个。

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作者:情报员