国家知识产权局信息显示,江苏晋誉达半导体股份有限公司申请一项名为“一种载台的快速定位、调平方法”的专利,公开号CN121386315A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明实施例公开了一种载台的快速定位、调平方法,包括:将待定位件置于载台上、并使其与中心孔对应;驱动机构对待定位件施加推力使其与定位轮相抵;吸附结构将待定位件固定在载台上;承托轮承托载台、并将载台往支撑轮方向推送;动力驱动元件驱动压紧座,使压紧轮和支撑轮分别顶靠在载台的两端;持续施加推力,通过压紧轮和支撑轮与定位倾斜面的配合,对载台的两端进行挤压使载台向上移动,完成压紧轮和支撑轮对载台的三点支撑、及对载台的调平。实现了光刻板定位和晶圆所在位置平行度调整的集成、及载台的抽拉式拆装,便于载台和光刻板的取放、且定位精确可靠迅速;保证了光刻板和晶圆的平行度,结构紧凑、集成度高,空间占用率低。

天眼查资料显示,江苏晋誉达半导体股份有限公司,成立于2014年,位于苏州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏晋誉达半导体股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息108条,此外企业还拥有行政许可10个。

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作者:情报员