国家知识产权局信息显示,国科光微(杭州)半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于图像邻域分析的晶圆缺陷检测方法和系统”的专利,公开号CN121391856A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及一种基于图像邻域分析的晶圆缺陷检测方法和系统,其中,该方法包括:对待检测的晶圆进行图像采集,得到包含完整晶圆背面的数字图像;对数字图像中每一个晶圆背面像素点进行遍历检测;在遍历检测的过程中,通过动态调整的单尺寸邻域窗口和/或固定的多尺寸邻域窗口,对当前遍历的晶圆背面像素点进行异常判定,直至完成数字图像中所有像素点的判定,得出所有异常像素点;对异常像素点进行聚类处理,得到数字图像中的候选缺陷区域。通过本申请,实现了动态检测策略与融合检测策略,有效克服全局阈值的误判风险,确保真实缺陷检出的一致性,提高了晶圆的缺陷检测精度,解决了如何提高晶圆的缺陷检测精度的问题。
天眼查资料显示,国科光微(杭州)半导体设备有限公司,成立于2023年,位于杭州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本111.1111万人民币。通过天眼查大数据分析,国科光微(杭州)半导体设备有限公司。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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