国家知识产权局信息显示,新毅东(北京)科技有限公司申请一项名为“光刻机隔震台的碰撞定位方法及设备”的专利,公开号CN121386312A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及芯片制造技术领域,提供一种光刻机隔震台的碰撞定位方法及设备。该方法包括:获取对光刻机隔震台执行低频激励测试所产生的多自由度频域响应数据和多自由度时域响应数据;根据多自由度频域响应数据,识别得到异常耦合路径集合;根据异常耦合路径集合和预设的映射关系,确定异常耦合路径集合对应的候选碰撞表面集合;根据多自由度频域响应数据、多自由度时域响应数据以及候选碰撞表面集合进行区域定位,得到光刻机隔震台中的碰撞定位区域。基于本申请方案,可以实现光刻机隔震台的准确碰撞定位。
天眼查资料显示,新毅东(北京)科技有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析,新毅东(北京)科技有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目84次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息154条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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