国家知识产权局信息显示,沈阳新松半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆搬运机器人的碰撞检测方法及系统”的专利,公开号CN121374557A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明属于半导体制造安全控制技术领域,具体说是一种晶圆搬运机器人的碰撞检测方法及系统,接收机器人轨迹规划模块输出的关节角度序列及高度坐标;通过正向运动学求解器计算机械臂各节点的笛卡尔坐标;利用点区域判断与线段区域检测算法,优先校验节点是否位于预定义安全区域;对位于安全区域外的晶圆执行区域化晶圆碰撞检测;若未发生晶圆碰撞,则为风险连杆构造定向包围盒OBB;检测OBB顶点是否越界,并对OBB各边与对应区域的腔室边界线段进行线段相交检测;最终输出碰撞判定结果,由机器人控制系统决策是否执行运动。本发明通过多级检测机制与高度自适应截面选择,实现了高效、精确的碰撞检测,具备高实时性、低成本、易集成等优点。
天眼查资料显示,沈阳新松半导体设备有限公司,成立于2023年,位于沈阳市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析,沈阳新松半导体设备有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息51条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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